HicubeTM Pro
分子泵可选(ISO KF/CF):Hipace80、Hipace300、Hipace400、Hipace700
前级泵可选:Penta20、Penta35、ACP15、ACP28、ACP40
真空度< 1 · 10-7 /1 · 10-10 mbar
注:Penta-单级旋片(油)泵、ACP-干泵
▶ 模块化设计原则轻松满足客户多种应用需求
▶ “即插即用”-无需布线和安装
▶ 各部件配合简便,易于保养维修
▶ 结构坚固,服务寿命长,可靠性高
▶ 集成的驱动系统,无需额外的控制系统
▶ 意外断电时,前级真空安全阀(可选)可保护真空腔体免受返流影响